پمپ های خلاء نیمه هادی Inpower Dry پمپ های تخصصی هستند که در صنعت نیمه هادی ها برای ایجاد یک محیط خلاء تمیز و خشک استفاده می شوند. این پمپ ها برای فرآیندهایی مانند رسوب شیمیایی بخار، رسوب فیزیکی بخار، کاشت یون و اچینگ ضروری هستند.

پارامترهای فنی:

مدل		GXR110	GXR180	GXR320	GXR400
سرعت (50 هرتز)	m³/h	110	180	320	400
خلاء نهایی (50 هرتز)	پا	کمتر یا مساوی 1	کمتر یا مساوی 1	کمتر یا مساوی 1	کمتر یا مساوی 1
توان (50 هرتز)	کیلووات	4.5	7.5	7.5	7.5
خنک کننده اجباری گردش داخلی	GXR مجهز به یک دستگاه خنک کننده با گردش داخلی اجباری است که حداکثر دمای بدن پمپ را دارد<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C
ولتاژ و فرکانس	با ولتاژ و فرکانس جهانی سازگار شوید
رابط ورودی/خروجی	رابط فلنج قابل تنظیم / رابط KF
اب	فشار (MPa)	0.2-0.4
	جریان L/min	3-5
	مدت (درجه تحصیلی)	10-30
N2	فشار (MPa)	0.05-0.1
N2	جریان L/min	6-20
سر و صدا	دسی بل	کمتر یا مساوی 68	کمتر یا مساوی 68	کمتر یا مساوی 70	کمتر یا مساوی 70
وزن	کیلوگرم	280	360	360	420
نظارت و کنترل	پانل کنترل/نمایشگر دیجیتال خلاء/مانیتورینگ دما/مانیتورینگ جریان/آژار خطا/سایر خدمات شبکه

مدل		GXR180/800	GXR180/1300	GXR180/1800	GXR450/2600
سرعت (50 هرتز)	m³/h	800	1300	1800	2600
خلاء نهایی (50 هرتز)	پا	کمتر یا مساوی با 0.1	کمتر یا مساوی با 0.1	کمتر یا مساوی با 0.1	کمتر یا مساوی با 0.1
توان (50 هرتز)	کیلووات	7.5	7.5	9	15
خنک کننده اجباری گردش داخلی	GXR مجهز به یک دستگاه خنک کننده با گردش داخلی اجباری است که حداکثر دمای بدن پمپ را دارد<50 ° C and a maximum motor temperature of<35 ° C
ولتاژ و فرکانس	با ولتاژ و فرکانس جهانی سازگار شوید
رابط ورودی/خروجی	رابط فلنج قابل تنظیم / رابط KF
اب	فشار (MPa)	0.2-0.4
	جریان L/min	0.1
	مدت (درجه تحصیلی)	3-5
N2	فشار (MPa)	10-30
N2	جریان L/min	0.05-0.1
سر و صدا	فشار (MPa)	6-20
وزن	دسی بل	کمتر یا مساوی 70	کمتر یا مساوی 70	کمتر یا مساوی 72	کمتر یا مساوی 72
نظارت و کنترل	کیلوگرم	600	720	800	1350
سرعت (50 هرتز)	پانل کنترل/نمایشگر دیجیتال خلاء/مانیتورینگ دما/مانیتورینگ جریان/آژار خطا/سایر خدمات شبکه

مشخصه:

عملیات بدون آلودگی:

پمپ های پیچ خشک نیازی به روغن کاری یا مایعات آب بندی ندارند و خطر آلودگی در محفظه خلاء را از بین می برند. این برای حفظ خلوص محیط تولید نیمه هادی بسیار مهم است.

سرعت پمپاژ بالا:

پمپ‌های پیچ خشک قادر به دستیابی به سرعت‌های پمپاژ بالا هستند و برای کاربردهایی که تخلیه سریع گازها مورد نیاز است، مانند پردازش نیمه‌رسانا، مناسب هستند.

نیازهای تعمیر و نگهداری کم:

در مقایسه با پمپ های روغنی، پمپ های اسکرو خشک نیاز به تعمیر و نگهداری کمتری دارند زیرا برای کار به روغن متکی نیستند. این منجر به کاهش زمان خرابی و صرفه جویی در هزینه در طول چرخه عمر پمپ می شود.

بهره وری انرژی:

پمپ های پیچ خشک برای بهره وری انرژی طراحی شده اند و به تولیدکنندگان نیمه هادی کمک می کنند تا مصرف کلی انرژی و هزینه های عملیاتی خود را کاهش دهند.

محدوده عملیاتی گسترده:

این پمپ ها می توانند در طیف وسیعی از فشارها کار کنند و در فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی که نیاز به سطوح خلاء متفاوتی دارند، انعطاف پذیری را ارائه می دهند.

طراحی فشرده:

پمپ‌های پیچ خشک معمولاً دارای طراحی فشرده هستند که امکان ادغام آسان در تجهیزات نیمه‌رسانا و صرفه‌جویی در فضای با ارزش کف را در محیط‌های اتاق تمیز فراهم می‌کند.

قابلیت اطمینان:

پمپ‌های پیچ خشک به دلیل قابلیت اطمینان و عمر مفید طولانی، ارائه عملکرد ثابت در طول زمان و کمک به راندمان کلی عملیات تولید نیمه‌رسانا شناخته شده‌اند.

پمپ های خلاء نیمه هادی خشک Inpower منطقه کاربرد:

ساخت نیمه هادی:

پمپ های پیچ خشک نقش مهمی در فرآیندهای مختلف تولید نیمه هادی از جمله رسوب شیمیایی بخار (CVD)، رسوب فیزیکی بخار (PVD)، کاشت یون، اچینگ و کندوپاش بازی می کنند. آنها به ایجاد و حفظ سطوح خلاء مورد نیاز برای این فرآیندها کمک می کنند.

رسوب لایه نازک:

در تکنیک‌های رسوب لایه نازک مانند کندوپاش و تبخیر، از پمپ‌های پیچ خشک برای تخلیه محفظه فرآیند و حفظ شرایط خلاء مورد نیاز برای رسوب لایه‌های نازک بر روی بسترها استفاده می‌شود.

پردازش ویفر:

پمپ‌های پیچ خشک در مراحل پردازش ویفر مانند تمیز کردن، الگوبرداری و دوپینگ استفاده می‌شوند، جایی که حفظ محیط خلاء تمیز و خشک برای دستیابی به نتایج دقیق و قابل اعتماد بسیار مهم است.

تگ های محبوب: پمپ های خلاء نیمه هادی خشک، تولید کنندگان پمپ های خلاء نیمه هادی خشک چین، تامین کنندگان، کارخانه, hoë werkverrigting droë skroefpompe, Betroubare droë skroefpompe, doeltreffende droë skroefpompe, duursame droë skroefpompe, skroefpompe vir droë toepassings, industriële droë skroefpompe