کالیبراسیون گیج خلاءنقش مهمی در زمینه اندازه گیری خلاء ایفا می کند و یک ابزار پشتیبانی کلیدی برای کل تحقیق و توسعه اندازه گیری خلاء است. از طریق کالیبراسیون، نه تنها می توان گیج های خلاء نسبی موجود را تحت استانداردهای قابل اعتماد یکسان کرد، بلکه می توان تحقیقات عمیقی در مورد عملکرد گیج های خلاء در مرحله توسعه انجام داد.
اصطلاحاً "کالیبراسیون گیج خلاء" اساساً به عملیات "کالیبراسیون" گیج خلاء نسبی اشاره دارد. لازم به ذکر است که کالیبراسیون گیج خلاء در شرایط خاصی برای نوع خاصی از گاز انجام می شود که از آن ضرایب کالیبراسیون یا منحنی های کالیبراسیون به دست می آید.
هنگامی که نوع گاز تغییر می کند یا شرایط کار تغییر می کند، منحنی کالیبراسیون اصلی دیگر قابل اجرا نیست و باید دوباره کالیبره شود. حتی برای همان ابزار اندازه گیری، در صورت تعویض گیج، منحنی کالیبراسیون آن نیز بر این اساس تغییر می کند. مشاهده می شود که کالیبراسیون گیج خلاء نسبی نه تنها ضروری است، بلکه باید به طور منظم انجام شود، در غیر این صورت ممکن است خطاهای اندازه گیری فراتر از محدوده مجاز رخ دهد.
هدف کالیبراسیون گیج خلاء کلی است که هم گیج خلاء را به عنوان ابزار اولیه و هم مدار الکترونیکی را به عنوان ابزار ثانویه پوشش می دهد. معمولاً این دو با هم کالیبره می شوند، اما ایده آل تر است که گیج خلاء و مدار الکترونیکی را جداگانه کالیبره کنید.
کالیبراسیون گیج خلاء نیاز به یک دستگاه وکیوم گیج استاندارد و سیستم کالیبراسیون دارد و از طریق روش های خاصی به دست می آید.
استانداردهای خلاء شامل گیج های خلاء مطلق، گیج های خلاء نسبی استاندارد (یا گیج های خلاء استاندارد ثانویه) و سیستم های کالیبراسیون مطلق هستند.
همه گیج های خلاء مطلق می توانند به عنوان استانداردهای خلاء عمل کنند. سیستم کالیبراسیون گیج خلاء که از گیج خلاء مطلق به عنوان مرجع استفاده می کند و به طور دقیق فشار پایین تولید شده پس از واپاشی فشار را به عنوان استاندارد محاسبه می کند، سیستم کالیبراسیون مطلق نامیده می شود.
به عنوان مثال، سیستم کالیبراسیون روش انبساط، اصل تعادل حرارتی استاتیکی را بر اساس قانون گازهای ایده آل بویل اعمال می کند. این سیستم حد پایین کالیبراسیون گیج فشار لوله U را به خلاء بالا (10-4 Pa) گسترش می دهد. گیج های خلاء با پایداری و دقت بالا می توانند به عنوان استانداردهای ثانویه برای کالیبراسیون وکیوم سنج های کاری پس از کالیبراسیون استفاده شوند. چنین خلاء سنج هایی را خلاء سنج استاندارد ثانویه می نامند. در حوزه اندازهشناسی، استانداردها سیستمی هستند که بر اساس سطوح دقت تنظیم شدهاند.
در 1 مه 1990، اداره نظارت فنی ایالتی استاندارد مهم "سیستم کالیبراسیون ابزار اندازه گیری خلاء" (JJG{2}}) را تصویب و اجرای آن را آغاز کرد.
با پیشرفت سریع تکنولوژی مدرن، پیشرفت چشمگیری در زمینه فناوری خلاء نیز حاصل شده است. در حال حاضر، دامنه اکتساب و اندازه گیری خلاء بسیار گسترش یافته است، از فشار اتمسفر اصلی (105 Pa) تا محدوده بسیار وسیعی از خلاء بسیار بالا (<10 ⁻¹⁰ Pa).
با این حال، در تولید صنعتی واقعی و فعالیت های تحقیقاتی علمی، از طریق تمرین گسترده و اکتشافات آماری، محدوده فشار درگیر توسط افراد عمدتاً بین 10-8 و 105 Pa متمرکز می شود. در این محدوده فشار خاص، به منظور اطمینان از دقت و سازگاری از مقادیر اندازه گیری خلاء، "سیستم کالیبراسیون ابزار اندازه گیری خلاء" پدیدار شده است.
این سیستم تأیید نقش مهمی دارد. این یک پیوند کلیدی برای اطمینان از دقت و قابلیت اطمینان مقادیر اندازه گیری خلاء است که از طریق آن می توان به انتقال موثر مقادیر اندازه گیری خلاء بین لینک ها و تجهیزات مختلف دست یافت.
به طور خاص، در زمینه اندازهگیری خلاء، دقت ابزارهای زمانبندی خلاء در تمام سطوح برای کل فرآیند اندازهگیری بسیار مهم است. سیستم کالیبراسیون مانند یک خط کش دقیق است که یک استاندارد اندازه گیری یکپارچه برای این ابزار زمان بندی خلاء ارائه می دهد و امکان کالیبراسیون دقیق سطوح مختلف ابزارهای زمان بندی خلاء را فراهم می کند.
و باید تأکید کرد که سیستم کالیبراسیون عمدتاً در محدوده فشار خاص 10-8 تا 105 Pa هدف قرار می گیرد. در این محدوده، چه دستگاه استاندارد خلاء مورد استفاده برای کالیبراسیون و آزمایش توسط بخش اندازه شناسی باشد، چه خلاء گیج. مورد استفاده در فرآیند آزمایشی توسط بخش تحقیقات علمی، یا تجهیزات اندازه گیری خلاء درگیر در فرآیند تولید توسط بخش صنعتی، همه آنها باید مطابق با این سیستم کالیبراسیون کالیبره شده است تا از دقت و قابلیت اطمینان مقادیر اندازه گیری خلاء در کل فرآیند تولید صنعتی و تحقیقات علمی اطمینان حاصل شود و از مشکلات مختلف ناشی از اندازه گیری نادرست خلاء مانند انحراف نتایج آزمایشی، کیفیت تولید ناپایدار و غیره جلوگیری شود.
