پمپ خلاء پره خشک InPower مورد استفاده در صنعت نیمه هادی برای ایجاد یک محیط خلاء تمیز و خشک. به دلیل تمیزی، قابلیت اطمینان و کارایی آنها، طیف گسترده ای از کاربردها را در صنعت نیمه هادی ها پیدا می کنند. این پمپ ها برای فرآیندهایی مانند رسوب شیمیایی بخار، رسوب فیزیکی بخار، کاشت یون و اچینگ ضروری هستند.

امکانات:

پمپ خلاء پره خشک نوعی پمپ خلاء است که مزایای فن آوری پیچ خشک را با خنک کننده آب ترکیب می کند تا عملکرد و راندمان را افزایش دهد. این یک راه حل قابل اعتماد، کارآمد و کم تعمیر و نگهداری برای کاربردهای خلاء تقاضا است که هم به عملیات خشک و هم نیاز دارند. اتلاف گرمای موثر

مدل:LGB30/50/70/110/150/180/200/220/270/300/360/400/500

خلاء نهایی: کمتر یا مساوی 1Pa

سرعت 50 هرتز:30-500 L/s

سرعت 60 هرتز:36 - 600 L/s

مدل			ال جی بی 30	LGB50	ال جی بی 70	ال جی بی 110	ال جی بی 150	ال جی بی 180	ال جی بی 200	ال جی بی 220	LGB270	LGB300	ال جی بی 360	LGB400	ال جی بی 500
سرعت (50 هرتز)		L/s	30	50	83	110	150	180	200	230	270	300	360	360	500
سرعت (50 هرتز)		m³/h	110	180	300	400	540	650	720	830	970	1080	1300	1500	1800
خلاء نهایی (50 هرتز)		پا	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5	5
حداکثر فشار اگزوز		بار	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.5	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2	1.2
توان (50 هرتز)		کیلووات	4	4	5.5/7.5	11	15	15	18.5	18.5	22	30	37	37	37
سرعت موتور (50 هرتز)		دور در دقیقه	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880	2880
اتصال	که در	میلی متر	50	50	65	65	100	100	150	150	150	150	150	150	150
اتصال	خارج	میلی متر	40	40	65	65	80	80	100	100	100	100	100	100	100
اب	جریان	L٪2fmin	6	6	10	15	20	20	25	25	28	28	28	28	28
	فشار	مگاپاسکال	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35	0.2-0.35
	اتصال		G3/8"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"	G1/2"
روش خنک کننده		هوا/آب	هوا/آب	اب	اب	اب	اب	اب	اب	اب	اب	اب	اب	اب	اب
سر و صدا		دسی بل	75	75	75	76	76	78	78	78	80	80	85	85	85
وزن		کیلوگرم	310	310	475	570	840	840	1200	1220	1250	1300	1350	1380	1400
نیازمندی های ویژه		با توجه به الزامات، می توان آن را با فرکانس متغیر، ضد خوردگی، ضد انفجار و غیره پیکربندی کرد.

پمپ خلاء پره خشک inPower منطقه کاربرد:

ساخت نیمه هادی:

در فرآیندهای ساخت نیمه هادی مانند CVD، PVD، کاشت یون، و اچینگ، پمپ های خلاء پیچ خشک خنک شده با آب به حفظ سطوح خلاء مورد نیاز کمک می کنند و در عین حال اتلاف گرمای کارآمد را برای اطمینان از عملکرد ثابت ارائه می دهند.

رسوب لایه نازک:

پمپ‌های پیچ خشک خنک‌شده با آب در تکنیک‌های رسوب لایه نازک مانند کندوپاش و تبخیر استفاده می‌شوند، جایی که کنترل دقیق خلاء و مدیریت حرارت برای رسوب لایه‌های نازک یکنواخت بر روی لایه‌ها ضروری است.

فرآیندهای عملیات حرارتی:

صنایع درگیر در فرآیندهای عملیات حرارتی، مانند متالورژی و هوافضا، به پمپ‌های خلاء پیچ خشک خنک‌شده با آب برای ایجاد محیط‌های خلاء برای بازپخت، لحیم کاری و سایر عملیات‌های با دمای بالا و در عین حال خنک نگه داشتن سیستم متکی هستند.

فرآوری شیمیایی و دارویی:

پمپ‌های پیچ خشک خنک‌شده با آب نقش مهمی در کاربردهای پردازش شیمیایی ایفا می‌کنند که در آن حفظ خلاء تمیز و خشک برای واکنش‌ها، تقطیر و فرآیندهای بازیابی حلال ضروری است.

تحقیق و توسعه:

آزمایشگاه‌ها و امکانات تحقیقاتی در صنایع مختلف از پمپ‌های خلاء پیچ خشک خنک‌شده با آب برای آزمایش و آزمایش استفاده می‌کنند و شرایط خلاء قابل اعتماد را برای مطالعه مواد، فرآیندها و تجهیزات فراهم می‌کنند.

تگ های محبوب: پمپ خلاء پره خشک، تولید کنندگان پمپ خلاء پره خشک چین، تامین کنندگان، کارخانه, پمپ های خلاء پیچ خشک, Vakuumpomp outomatisering, Vakuumpompverbinding, Vakuumpompbeheerstelsel, Vakuumpompmonitering, Vakuumpomp Telemetrie

پمپ وکیوم پره خشک

پمپ خلاء پره خشک inPower منطقه کاربرد: